石英製品とは？｜フェローテック

純度99.99％のピュアで、熱や化学反応に強いガラス
半導体製造プロセスでは、高熱処理や化学処理が頻繁に行われます。純度99.99％のシリカガラスからなる石英製品は、高温作業に耐え、活性ガスにも化学変化を起こしません。そのため、シリコンウェーハの薄膜生成・搬送・洗浄などの工程でウェーハを固定する部材、あるいは洗浄槽として大量に用いられています。当社では、原材料の調達から製造・加工、販売までを行い、半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインアップしています。

原理：	純度99.99％のシリカガラス
特長：	熱や化学反応に強い
用途：	用途：半導体製造装置・発光ダイオード製造装置