装置関連事業：シリコンウェーハ・セラミックス


個別半導体用小口径シリコンウェーハの加工を上海工場で行っています。予想される需要の伸びに対応し増産化を進め、シリコンウェーハの拡大に貢献しています。


主成分99.9％以上の高純度グレードやプラズマ耐性の高いグレードの「ファインセラミックス」。工作機械で容易に加工することができ、電気絶縁性、耐熱性に優れ、精密で真空中の放出ガスが極めて少ない「マシナブルセラミックス」を取り揃えています。＞＞＞セラミックス製品に関する情報はこちらをご覧ください。