真空シールとは？｜フェローテック

回転運動を伝え、気密空間を守る
半導体ウェーハや液晶パネルの製造工程では、超精密な成膜加工を実現するため、密閉された真空空間で加工が行われています。空気、ガス、蒸気、微細粒子などの不純物が紛れ込むことは、回路パターンの品質を落とすことにもつながりかねないからです。真空シールは、加工が行われる密閉空間を外部から隔離するとともに、密閉空間の作業に必要な様々な運動を伝える役割も担っています。

原理：	磁性流体シール
特長：	密封機能・回転運動
用途：	半導体製造装置、液晶パネル・光通信用フィルター製造装置、フラットパネルディスプレイ(液晶、プラズマディスプレイ、有機ELなど)製造装置