プレスリリース2009

「セミコン・ジャパン2009」概要
出展期間：2009年12月2日(水)～4日(金)　10:00-17:00
会場：幕張メッセ
出展ブース：5A-501

【出展製品】

• 新製品「ＦｅｒｒｏＤｒｉｖｅ（直交型精密減速機付）」（磁性流体真空シールに直交型減速機を組み込んだ製品）
• 真空間を外部から隔離し、運動を伝える真空シール
• 薄膜生成・洗浄工程に必要な石英製品
• 電流極性の切り替えにより冷却・加熱が可能なペルチェ素子
• 太陽電池用インゴット製造装置、石英坩堝
• 高精度の各種ファインセラミックス製品、高精度微細加工可能なマシナブルセラミックス「ホトベール」製品