太陽電池用シリコン単結晶引上装置 製品情報
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インゴット製造の品質安定化を支える
概要

太陽電池用シリコン単結晶引上装置は、真空炉内(高温・低圧)の石英るつぼでシリコン原料を溶解後、 単結晶の核となる種結晶をシリコン融液に浸漬し、 その種結晶を回転させながら引き上げることで単結晶インゴットを製造する装置です。

※炉内の真空状態を維持しながら回転運動を伝える真空シール、高温でシリコン原料を溶かすホットゾーン、 溶解したシリコンの受け皿となる石英るつぼも当社で製造しています。

シリコン単結晶インゴット
太陽電池用シリコン単結晶引上装置
太陽電池用
シリコン単結晶引上装置
(FT-CZ2408)
  特長

均一な直径のシリコンインゴットを製造

  種結晶を引き上げるプルヘッドは、モータ(低速昇降、高速昇降および回転)、 エンコーダ、ワイヤ巻き取り機構、ワイヤ位置調整機構などで構成され、垂直方向への結晶引き上げを保証し、 均一な直径のシリコンインゴットを製造します。
 
長時間でも安定的に駆動
  るつぼ昇降機構は、モータ(低速昇降、高速昇降および回転)、ウォームギア、ベベルギア、ボールねじ、 ベローズなどで構成され、長時間でも安定して駆動します。
フレキシブルな対応が可能なインターフェース
 
引き上げプロセスは、工程管理用の操作パネルと、 オペレーターが状況に応じて適宜装置を動作させられるタッチ式ハンディコントローラで管理します。 これらのインタフェースは、オペレータの使いやすさに配慮して、視認性に優れ、 直感的な操作が可能なGUI(グラフィカルユーザインターフェース)となっています。
  商品ラインナップ
形式 FT-CZ2208 FT-CZ2008 FT-CZ1806
るつぼサイズ 22インチ 20インチ 18インチ
チャージ容量 135Kg 95Kg 60Kg
インゴット直径 8インチ 8インチ 6インチ
取得可能ボディ長 1,480mm 1,040mm 1,180mm
(歩留り=90%換算)
装置高さ 7,400mm 7,400mm 7,300mm
(Approx.) 6,800mm 7,050mm 6,950mm
専有面積 W4,170×D2,660mm W3,340×D2,140mm W2,625×D2,140mm
(Approx.) W1,470×D2,660mm W1,470×D2,140mm W1,470×D2,140mm
装置重量(Approx.) 5,500Kg 4,500Kg 4,000Kg
制御モード 全自動 自動/半自動 自動/半自動
特徴 8インチインゴッドの引き上げに最適化された全自動モデル 6~8インチインゴッドの引き上げに対応したミドルクラス仕様 6インチインゴットの引き上げに最適化されたコンパクトで安価な装置
   
 
当社では、太陽電池用シリコン結晶製造工場の立案、設計、生産設備の導入から立ち上げまで、太陽電池用シリコンインゴットの製造に関するすべてのプロセスをフルサポートしています。

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