| 形式 |
FT-CZ2208 |
FT-CZ2008 |
FT-CZ1806 |
| るつぼサイズ |
22インチ |
20インチ |
18インチ |
| チャージ容量 |
135Kg |
95Kg |
60Kg |
| インゴット直径 |
8インチ |
8インチ |
6インチ |
| 取得可能ボディ長 |
1,480mm |
1,040mm |
1,180mm |
| (歩留り=90%換算) |
| 装置高さ |
開 |
7,400mm |
7,400mm |
7,300mm |
| (Approx.) |
閉 |
6,800mm |
7,050mm |
6,950mm |
| 専有面積 |
開 |
W4,170×D2,660mm |
W3,340×D2,140mm |
W2,625×D2,140mm |
| (Approx.) |
閉 |
W1,470×D2,660mm |
W1,470×D2,140mm |
W1,470×D2,140mm |
| 装置重量(Approx.) |
5,500Kg |
4,500Kg |
4,000Kg |
| 制御モード |
全自動 |
自動/半自動 |
自動/半自動 |
| 特徴 |
8インチインゴッドの引き上げに最適化された全自動モデル |
6~8インチインゴッドの引き上げに対応したミドルクラス仕様 |
6インチインゴットの引き上げに最適化されたコンパクトで安価な装置 |
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