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太陽電池用シリコン多結晶製造装置 製品情報
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シリコン製造の生産コスト効率化に貢献
概要

シリコン多結晶製造装置は、世界的に需要が増えている太陽電池を製造するために欠かせない重要な設備です。当社が保有するHXH－270/450タイプは、最新の技術を導入しています。この設備では、多結晶材料やリサイクル材料(H&T、坩堝残、ウェーハ等)を充填/溶融/結晶化/冷却することで、太陽電池の前工程で使用させる多結晶ブロックを鋳造しています。

 太陽電池用シリコン多結晶製造装置
太陽電池用シリコン多結晶製造装置
  特長

効率的な生産
  HXH－270/450タイプの多結晶製造装置は大量の材料充填を実現。従来製品に比べ、原材料の効率的な生産を可能にしました。
 
高い安全性
  ガラス繊維にはカーボン素材を採用。二重安全設計を施しただけでなく、自動液漏れ感知システムも装備しています。
高品質
  高性能加熱システムと保温措置を採用しており、結晶過程における電気抵抗率の均衡性と一致性を保証。高品質なシリコン材料の製造を実現させました。
自動化
  稼動過程においてはPLC制御・ハイスピードマイクロ処理器の検束・処理デバイスを採用することにより、自動制御とデータ転送を可能としました。
また、制御システムには単相UPS装置を装備しており、瞬間停電による損失を低減できます。
  商品ラインナップ
製品規格 HXH-270（270kg　チャージ） 690mm×690mm×245mm
HXH-450（450kg　チャージ） 840mm×840mm×275mm
設備真空度 結晶の引上環境 10KPa（仕様）
空の炉限度真空度 ３Pa以下
許容リーク量 ５Pa/Hr以下
重量 炉体 約4000Kg
フレーム 約1200kg
操作台 約1000Kg
操作BOX 約50Kg
制御BOX 約400Kg
電源BOX 約1800Kg
外形寸法 4600mm×3300mm×5320mm
チャンバー部品規格 内径 1840mm
材質 内：SUS316L　　厚：16mm
外：SUS304L　厚：８mm
高度 上チャンバー：1580mm
下チャンバー：750mm
炉蓋厚：65mm
三組電極の中心距離 900mm
ビューポート(覗き窓) 温度測定・観察：1箇所
冷却水路 スパイラル構造
冷却水排水口 炉体各部品の最下部
保温カバー昇降機構部品規格 昇降駆動方式 自動/半自動
昇降ストローク ≧350mm
リミットスイッチ 2ヶ所(上限、下限)
下チャンバー昇降機構部品規格 昇降駆動方式 半自動
昇降ストローク ≧9000mm
リミットスイッチ 2ヶ所(上限、下限)
真空配管システム部品規格 主真空配管のジョイント部寸法 ISO　100mm
副真空配管のジョイント部寸法 ISO　50mm
制御弁 自動/手動
炉内圧制御精度 ±0.15KPｇ
ジョイント位置 上チャンバーの左側面(主真空機)　ポート位置
Arガス配管システム部品規格 最大流量 200L/min（MFCでArガス制御）
圧力　In 2.7Kg/cm2
端口位置 炉蓋上部
冷却水システム部品規格 冷却水源出入口は螺旋状、通径寸法 φ50ｍｍ(2インチ)
流量 300L/min～350L/min
水圧 3Kg/cm2～3.6Kg/cm2
出入水圧差 2Kg/cm2以上
進水温度 15～26℃
電気制御システム ヒーター　電源部品規格 輸入側電圧：三相380V　AC(50/60Hz)
ヒーターパワー：200KW　(DC　50V　4000A)
輸出制御方式：電力パワー制御
電力パワー制御精度：規定直流輸出±2%以内
冷却水流量：20Ｌ/min以上
水圧：2Kg/cm2以上
結晶測定システム 　
温度測定システム部品規格 ①B型熱伝対
再現精度：±0.5℃
（または±0.025%全測定過程)
測定範囲：0～1800℃
②赤外線測定器
再現精度：0.1%（全測定過程)
（または±0.025%全測定過程)
測定範囲：1000～1800℃
測定波長：0.85～1.1μm
制御方式 制御器構成 ハンドタッチパネル
汎用PC
高性能PLC
プロセス制御方式 ①チャージ：手動
②真空引き：手動/自動
③加熱：手動/自動
④メルト、安定：手動/自動
⑤凝固、結晶化：手動/自動
⑥減熱：手動/自動
⑦冷却：手動/自動
⑧取出：手動
結晶取出方法 炉体昇降機構で下チャンバーを下降させ、専用取出台車で結晶・石英坩堝及びカーボン坩堝を一同に取り出す。カーボン坩堝を卸し、石英坩堝を分解し、専用機械で結晶を吊るして出す。
   
 
当社では、太陽電池用シリコン結晶製造工場の立案、設計、生産設備の導入から立ち上げまで、太陽電池用シリコンインゴットの製造に関するすべてのプロセスをフルサポートしています。

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