石英製品

半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に耐え、活性ガスとの化学変化を起こさない高純度のシリカガラス製品です。CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に利用されています。フェローテッククオーツでは、半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップしています。


オーバーフロー槽薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、12インチ対応製品を含め多様なニーズにお応えします。	横型ボートウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート。	縦型プロセスチューブ半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用。12インチウェハーの登場による大口径化にも対応しています。


縦型ボート 12インチウェハーの大口径化にともない大型化する縦型ボート。	フィン保温筒縦型チューブ下部の断熱に使用。不透明石英を使用した製品も製造しています。	精密機械加工品半導体製造工程で使用される精密機械加工品。

品質管理体制高品質・高精度製品を安定供給 1987年に杜工場で操業を開始したフェローテッククオーツは、高度な加工技術と三次元測定機などを用いた確かな品質管理を培い、10数年の実績を積み重ねてきました。工場は、ISO9002の認証を取得し、超純粋シャワー洗浄室、梱包用防塵室のほか、石英素材の組立、溶接、焼上など各工程に最新鋭の設備を配置。全工程で実施する品質管理より、世界品質を保証する生産体制を確立しています。

R&D体制次世代を見据えたR&Dを推進シリコンウェハーは、8インチから12インチへと移り変わりつつあります。R&Dグループでは、こうした流れをいち早く捉え、業界に先駆けて独自技術を駆使した12インチ関連石英製品の開発を進めています。会津工場では、クリーンルームを備えた12インチの一貫生産工場として稼働。さらにナノテクノロジーへの対応を進めるなど、次世代を見据えた取り組みを積極的に推進しています。