磁性流体真空シールに直交型減速機を組み込んだ製品で、汎用サーボモータを取り付けることにより、剛性の高いコンパクトでバッククラッシを起こさない真空回転導入が可能となりました。プーリーやベルトなど他に回転導入用パーツを使用する必要が無く、高性能かつ省スペースが実現可能となりました。
※ ㈱三共製作所製 減速機(RollerDrive)搭載
大型化する装置の省スペース化に貢献。