Temescal XTC Deposition Controllers

多層・単層にかかわらず、薄膜形成プロセスに求められる全ての機能を備えたコントローラが、完成しました。特許を取得したモードロック(ModeLock)機能付き XTC/3 は、良く知られたモードホップを防止し、安定した品質を実現します。薄膜形成コントローラを使用することで、たとえ何層の膜であっても、蒸着レートと膜厚を高い精度で制御できますし、容易な立ち上げと高い信頼性により、生産性に寄与します。