高い安定性を備えた２台迄のイービーム・ソースに供給可能な電源 CV12SLX
Temescal 製CV-12SLXは、12ＫＷの定電圧スイッチング電源で、イービーム・ソースに電源を供給し制御するよう設計されています。最大10Kv を0～1,200mA 供給するCV-12SLX は、生産時に蒸着レートの一貫性を提供します。この電源は、出力電圧レンジ全域で安定した電圧出力と、迅速なアークリカバリー、容易な組み込み、及びオペレータとメンテ要員に対する容易な作業性と高い安全性を備えています
適用可能なオプション
- １台のイービーム・ソース - CV-12SLX, 208V 又は 400V
- 2台のイービーム・ソース - CV-12SLX, 208V 又は 400V
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高信頼性と高安定性を備えた電源
- 高電圧出力は、0～10Kv までリニアに調整可能
- エミッション電流は、0～1,200mA までリニアに調整可能
- エミッション電圧は、±0.5%以下に制御
- エミッション電流は、±0.5%以下に制御
- 3.5mSec 以内にアークリカバリーが可能
- 自動バイアス制御機能は、フィラメントの経時変化に伴うバイアス電圧調整を最適化します
- フロントパネルに、装置状態表示LEDを１４個装備
- 背面パネルの自己診断ポートは、必要な際により詳細な装置診断を可能にします
- 正面パネルに高電圧とエミッション電流メーターを装備
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保守と調整用のアクセス
- 電源及びフィラメントモジュールのカバーは、取り外しが容易
- 調整用ボリュームはプリント基板上に設置
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装置と保守要員の保護安全機構を備えた、統合された電源モジュール
- ラックマウント仕様
- 小型軽量 (総重量25Kgl)
- 空冷
- 安全を確保するインターロック
- CE 準拠
仕様データ
入力電源
208 V ac +10%/-5%, 60 Hz, 30 A
3相 デルタ接続 (4線) 又は、
400 V ac +10%/-5%, 50 Hz, 20 A
3相 デルタ接続 (５線)
高電圧出力
最大10 kV 時に. 12 kW
設定可能範囲 0-10 kV
制御安定性 ±0.5%以内
設定可能範囲 0-10 kV
制御安定性 ±0.5%以内
ＨＶ回路
精密定電圧制御
常時グランド基準出力
瞬時アークリカバリー
空冷機構
常時グランド基準出力
瞬時アークリカバリー
空冷機構
ビーム電流
設定可能範囲 0-1,200 mA dc
制御安定性 ±0.5%以内
制御安定性 ±0.5%以内
電源モジュール
外形寸法
高さ222mm x 幅483mm x 奥行き533mm
重量
48Kg
フィラメント電源容量
入力電源
単層 220V AC ±10%, 6.25 A, 50/60 Hz
出力
各イービーム・ソースに10V AC 、 50 Amps 、最大40 kHz
外形寸法
6.5 in. H × 6.5 in. W × 11 in. D
重量
4.5Kg.
設置環境
腐食性気体に触れない環境
温度
最大40°C
湿度
10%-90%，露滴しないこと
Temescal Model CV-12SLX Electron Beam Power Supply
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