最大3台のイービーム・ソースに供給可能な、15kW Simba 2電源
Temescal 製Simba 2は、最大10Kv を1.5A 供給する定電圧電源で、最大3 台のイービーム・ソースにフィラメント電源を供給するよう設計されています。最大15Kwの高電圧出力は、い大のイービーム・ソース又は、3台までのイービーム・ソースで、一つの進級チャンバー内又は、個別のチャンバーのイービーム・ソースとして共有出来ます。永久磁石仕様或いは電磁石仕様の何れのイービーム・ソースに対しても、Simba 2 は、出力電圧レンジ全域で安定した電圧出力と、迅速なアークリカバリー、容易な組み込み、及びオペレータとメンテ要員に対する容易な作業性と高い安全性を備えています
適用可能なオプション
-
1台のイービーム・ソースSimba: 208/240V, 380/415V 又は 480V
-
2台のイービーム・ソースSimba: 208/240V, 380/415V又は 480V
-
3台のイービーム・ソースSimba: 208/240V, 380/415V又は 480V
詳細機能
複数の電流・電圧レンジをサポートする機能は、Simba 2の多様性を広くしています。電源は、ユーザが指定した電圧レンジ-3 to -7 kV 及び -6 to -10 kVの範囲で、1%以下の精度で高い直線性で調整できます。イービーム・ソース制御回路は、核ソースに大して各々4つのエミッション電流レンジの設定を可能にし、低電力時の安定性の維持に貢献します。各ソース用のエミッション電流は、指定された各レンジ内で、個別に1%以内に制御されます
-
最大3台までのイービーム・ソースを動じ制御する、15kwの高電圧出力.
-
ラックマウント仕様
-
ホストコンピュータによる制御用インターフェイス
-
二組のユーザ設定範囲を持つ低電圧制御
-
直線性の高い電圧出力調整
-
定電力領域で完全な制御を可能にする、四つの範囲でのプログラマブルな電流制御
-
高電圧レギュレータは、調整可能なアーク消去設定を装備
-
エミッション電圧は、±1%以下に制御されます%
-
エミッション電流は、±1%以下に制御されます
-
空冷
-
2又は3台のソースへの拡張に対応する事前配線
-
装置と保守要員の安全を確保するインターロック
-
アクセスが容易な調整用ボリュームは、プリント基板上に設置
仕様データ
入力電源
208/220/240 V ac, 50/60 Hz
高電圧出力
10 kV 時に. 15 kW (1台のイービーム・ソースに供給又は3台までのソースに分割供給が可能)
設定可能範囲 -6--10 kV
制御安定性 ±1%以内
ビーム電流
設定可能範囲 0-15A dc
制御安定性 ±1%以内
フィラメント・トランス入力
最大120 V ac, 7 A迄、各ソースに供給可能
フィラメント・トランス出力
最大12 V ac, 70 A 迄、各ソースに供給可能
偏向ヨーコイル電流
各ソースの5Ωの負荷に、0 ~ 3 A dc を供給可能
外部電源
ソースのフィラメントトランス用120 V ac
Beam Sweep Capability
Longitudinal and lateral when operated with a beam sweep controller
コントロール入力
蒸着時の膜厚/レートコントローラからのフルクローズ制御信号入力:0 ~ + 10 V dc
電源モジュール 重量
720 lbs. (324 kg)
電源モジュール 外形寸法
高さ1016 mm x 幅590 mm x 奥行き705 mm)
ソース・インターフェイスシャーシー外形寸法
高さ178 mm x 幅483 mm
リモートコントロール・パネル外形寸法
高さ133 mm x 幅483 mm