スーパースウィープ64(SS64) イービーム・スウィープコントローラ
Temescal 製SS64 ビーム・スウィープコントローラは、完全デジタル制御で最大64 種類のユーザ定義スウィープパターンを記憶し、現在市販されている全てのイービーム・ソースに対応します。デジタル制御の意味は、スイープパターン設定が、最大1,024の個別のポイントに対し、移動・停止・禁止地点としてスイープパターン設定が可能なことを表しています。ウインドウズ・ベースのソフトウェアとハンドヘルド・リモートコントローラによりSS64 は、イービームを使用したPVD プロセスに要求される、正確性と柔軟性を備えています
適用可能なオプション
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ユニバーサル・ラックマウントキット
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接続線ケーブルキット
波形作成画面に表示されたリサージュ曲線と動作パターン
詳細機能
SS64 は、スイープ波形の設計と編集を行う機能を備えた、ウインドウズ・ベースのソフトウェアです。このソフトウェアを使用することで、PC上で全ての波形をシミュレーションが行えます
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仮想的には、全てのイービーム・ソースを制御できます
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ウインドウズ・ベースのソフトウェアを使用し、独自のパターンの設計と既存のパターンの編集が可能
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ウインドウズとのインターフェイスにより、スイープパターンのPC上でのシミュレーションと、PCによるSS64の制 御とモニタリングが可能
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ハンドヘルド・リモートコントローラを使用し、ビームスイープを観察しながら波形作成が行えます
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使用可能な5 種類の波形:サイン波、ノコギリ波、三角波、台形波、楕円波
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ユーザ定義のスウィープパターンは、最大1024 のポイントを定義できます
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指定した位置での滞留や、その位置への移動禁止の指示が可能
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SS64本体には最大64パターンの記録が可能(コンピュータ上にはHDの容量次第)
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内蔵されたノイズキャンセラーは、蒸着中のアークノイズから宇ニットを保護
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強固なシールドにより、EMIとRMI~ユニットを保護
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ユーザ定義が可能な上下及び左右の振り幅限界
仕様データ
出力波形タイプ
サイン波、三角波、鋸波、台形波、任意定義波形
外形寸法
高さ133 mm x 幅216mm x 奥行き356mm
電源電圧
100-240 V ac, 50-60 Hz
コンピュータI/Oポート
RS-232 と RS-485
リモート・スイープ起動
閉接点、又は 24 V dc
エミッション電流制御出力
0 ~ 10 V dc 出力
エミッション電流モニター出力
各コイルに、0 ~ 10 V dc 出力