Systems

Temescalの最新の蒸着装置ファミリーは、小規模生産又は研究開発用途から大規模生産ライン用途まで幅広いユーザ仕様に最適な装置をご提供しています。リフトオフ又はステップカバレッジプロセスに最適な装置は、クリーンルーム仕様で全てのご要求にお応えできるアクセサリーを備えています。

当社の装置は、装置立ち上げはもとより装置運用時に、最適な柔軟性と効率を発揮するよう設計されています。Temescal社の装置制御システムによる完全自動なプロセスは、使い易さと同時に最大のスループットを両立しました。装置制御システムは、プロセスと真空制御を完全に統合し、レシピによりダイアフラムを介してポンプとベントを制御し、自動的なポンプ、ベント、及プロセスランとしてのサイクルの再開を、独立したレシピプロセスとして実行します。