Temescal FC-4400 Deposition System

装置制御

• Temescal 製コントロールシステム(TCS)は、オート、マニュアル、サービスの各モードとデータログ機能を持っています
• TCS のプロセス変数モニタリング機能(PVM)を使用し、プロセスの許容誤差に基づいたアラームのセットポイント設定が行えます
• インフィコン(Inficon)製XTC/3 蒸着コントローラを装備
• Temescal 製のカバー取り外し可能4～6 ポケットのターレットソース
• Temescal 製CV-12SLX エレクトロンビーム用高圧電源
• Temescal 製スーパースイープ64(SS64)-プログラム可能なビームスイープコントローラー

真空ポンプと制御

• エドワーズ製iGX100L ドライポンプ、真空引き能力： 105 m³/h^-1
• ソースチャンバー用クライオポンプ：CTI 製CT-10 オンボード
• プロセスチャンバー用クライオポンプ：CTI 製CT-400 オンボード
• エドワーズ製アクティブ・インバーテッド・マグネトロンゲージとピラニ(Pirani)コントローラをTCS によりモニターし制御
• クライオポンプの温度モニタリング

水循環システム

• ステンレス製のマニフォールドから、ソースとプロセスチャンバー内のコンポーネントに冷却水を供給
• プロダクトチャンバー内の独立した２系統の循環経路は、冷却水と熱水（オプション）の併用が可能

エアーシステム

• PLC 制御のエアーマニフォールド

その他の機能

• ５カ所の非常停止スイッチ
• キャスター付き標準19 インチ(483mm)ラック
• ・ 真空にさらされる表面には、304 ステンレスを使用

ソースチャンバー

• 真空ラックの正面又は左側からアクセスが可能な、降下しスイングアウトするソーストレイ
• 広い視野角を持つ4 インチ(102mm)のソース観測ポート
• 取り外しが可能な、ステンレス製ソーストレイ用飛散防止シールド
• 移動可能なシールド付きゲートバルブ
• ソーストレイ径：648mm

プロセスチャンバー

• FC-4400 597mm x 1,118mm x 1,118mm
• 二組のプロセスチャンバー内蒸発シールド
• 二組のブランクオフRGA ポート
• 左側のメンテナンス用ドアー
• 装置正面と左側の、広い視野角を持つ観測ポート
• 標準TP-8 90°入射用ウェーハドーム
• 一つの固定均一性マスク

Temescal制御システム

Temescal 製コントロールシステム(TCS)は、レシピによりプロセス制御と真空圧制御を完全に統合する機能を備えています。パスワード保護された３つの運用モードの何れかで、TCS はプロセス変数のモニター、プロセスとその履歴の管理、プロセスデータのログ作成を行います

TCS System Map During Deposition

 

オートモード

TCS のオートモードでは、最大20 ステップ迄の蒸着プロセスで構成されたユーザ定義のレシピに基づいて完全自動で蒸着プロセスを実行すると同時に、完全なアボート機能を備えています。

マニュアルモード

TCS のマニュアルモードは、ユーザが各プロセスパラメータを設定し、完全なインターロック保護下で主要コンポーネントとサブシステムを個別に操作し、１種類の膜を手動で蒸着することを可能にします。

サービスモード

TCS のサービスモードは、インターロックを解除した状態で、装置のバルブ、ポンプ、高圧電源等を操作することが可能です。

オプション

装置制御

• TCS 用SECS/GEM インターフェイス
• チャンバー内温度モニター機能
• TCS制御のターレットソース用自動ブローダウン機能
• 同時蒸着をサポートする、XTC/3 蒸着コントローラの追加

電子ビー・ソース、パワーサプライとスイープ

• Ｔｅｍｅｓｃａｌ製ポップトップ・電子ビーム・ソースへのアップグレード
• 203mm のソース-ウェーハ間距離延長カラー
• もう一台のイービーム・ソースの追加
• 一台のイービーム・ソース装置に２台のワイヤーフィーダーの取り付けが可能
• 出力15Kw のTemescal 製Simba2 への電源アップグレード
• ２台目のSS64 プログラマブル・スイープコントローラの追加

真空ポンプと制御

• TCS の制御によるソフトな真空引きと大気解放
• 高性能メカニカルポンプへのアップグレード

プロセスチャンバー

• 基板加熱用ヒーター
• 一つの５インチイオンソース
• 残存ガスモニター
• プロセスチャンバーに、もう一台のCT-400の追加
• クライオポンプのスロットリング
• プロセスチャンバーへの熱水循環機構
• 3 種類までのプロセスガスの制御

プロセス

• 一枚の均一性マスクの追加
• プロセス作成と膜の特性評価

Temescal FC-4400 Deposition System For more information or to start a quote on a complete system Product Capacity Catalog # Add Product Temescal FC-4400 Deposition System FC-4400 FC-4400 O-Ring & Shield Kits When requesting information about these kits please include the serial number of your system. Product Capacity Catalog # Add Product O-Ring Kit Select this to request O-Ring Kit information. 9999-99-0001 Shield Kit Select this product to request Shield Kit information. 9999-99-0002 VV-440 Viewport VV-440 Viewport: Provides a 4" polarized window for viewing chamber; mounts on a 5.5" dia. bolt circle. Viewport Explosion Diagram View larger » Product Capacity Catalog # Add Product VV-440 Viewport Provides a 4-in. polarized window for viewing chamber; mounts on a 5-1/2-in. -dia. bolt circle 0628-3260-0 Heater Assembly Product Capacity Catalog # Add Product HA-2 Substrate Heater Assembly 1-kW or 2-kW substrate heater for use in BJD-1800 and FC-1800 systems; supplied with two 500-W lamps 0802-7034-0 Heater Lamp 500-W lamp for the HA-2 substrate heater 9001-0500-3 Heater Lamp 1000-W lamp for the HA-2 substrate heater 9001-0103-4 FC-4400 TP8 Substrate Domes 42" Product Capacity Catalog # Add Product Dome 100-mm wafers, std clips For FC-4400, source to substrate: 42". 60 0629-1984-0 Dome 100-mm wafers, LT* clips For FC-4400, source to substrate: 42". 60 0629-1984-1 Dome 150-mm wafers, std clips For FC-4400, source to substrate: 42". 30 0627-3264-2 Dome 150-mm wafers, LT* clips For FC-4400, source to substrate: 42". 30 0627-3264-0 Dome 200-mm wafers, std clips For FC-4400, source to substrate: 42". 15 0629-1944-0 Dome 200-mm wafers, LT* clips For FC-4400, source to substrate: 42". 15 0629-1944-1 * Patented lite-touch LT spring clips for fragile substrates (GaN, GaAs, InP, etc) TP8 Dome Spare and Replacement Parts Product Capacity Catalog # Add Product Light Touch Clip Kit For TP-8 substrate domes 0629-0200-0 lite touch clip For TP-8 substrate domes; 12gms@ 1" def. 0626-2634-1 Standard Clip and Spring Kit For TP-8 and HSP substrate domes; includes 10 sets of springs and standard clips plus mounting hardware 0615-4401-0 Std. Spring Clip Only For TP-8 and HSP substrate domes 9504-0462-1 Compression Spring For TP-8 and HSP standard substrate clips and for TP-8 lite-touch substrate clips 0315-6271-0 Compression Screw For TP-8 and HSP standard substrate clips and for TP-8 and HSP lite-touch clips 1325-0006-0 Compression Nut For TP-8 and HSP standard substrate clips and for TP-8 and HSP lite-touch clips 1367-0800-0 Bearing For the following substrate fixtures; TP-8-18, TP-8-20, TP-8-25, HSP-18 and HSP-20 9120-0003-1