エピタキシャルウエーハ | 株式会社フェローテック

用語集

ポリッシュドウエーハの表面に所要規格のシリコン単結晶を気相成長させたウエーハ。トランジスタ、ダイオードなどの個別素子、またバイポーラ型およびMOS型のIC用基板に利用されています。