枚葉式 | 株式会社フェローテック

用語集

半導体などの製造装置において，ウエーハを1枚ずつ処理する方式。プロセス処理の高精度化やウエーハの大口径化に伴い，従来のバッチ式から枚葉式へ移行する工程が増えています。枚葉式は、一個流しのこと。