はじめての半導体

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サプライチェーン

フェローテックのサプライチェーン

「供給連鎖」とも呼ばれ、原料の段階から製品やサービスが
消費者の手に届くまでの供給の流れを表しています。

半導体製造前工程の多くのプロセスで使用されている当社製品

●石英製品

ウエーハボート
洗浄槽
アウター
チューブ

●シリコンパーツ

ウエーハボート
インナー
チューブ
インジェクター

●SiCパーツ(CVD-SiC)

組み立て式
ウエーハボート
ウエーハボート
SiC ダミー
ウエーハ

●セラミックス

ウエーハクランプ
プローブカード
ウエーハトレイ
& ハンド

●サーモモジュール

クーリング
プレート
クーリング
プレート
（内部構造）
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